單晶定向的切割方法有哪些？

發布日期：2017-05-31 00:00 來源：http://www.guoganxinwen.com 點擊：

各向異性是晶體的本征特性, 即晶體在不同方向上具有不同的光學、電學、力學等物理性能, 在應用時, 根據使用目的不同, 須對晶體進行不同的定向切割. 例如, 要制作性能優異的Si 壓力傳感器 , 須利用 Si 單晶在( 001) 面上的 110 方向壓阻效應大的特性, 定向切割出 Si( 001) 面, 并在此面上標出 110 方向, 在此面上, 沿著 110 方向制作電阻. AgGaSe 2 晶體. 一般采用自發成核 Bridgman 方法生長, 生長出的晶錠無明顯方向特征, 要研究 AgGaSe 2 晶體對粒子的探測性能, 須定向切割出( 001) 面.

單晶定向方法很多, 如光象法、錐光圖法、勞埃定向法以及近年來利用定向儀發展的幾種快速定向法等. 光象法、錐光圖法應用非常局限, 精度很差, 且無法定向切割出任意晶面. 勞埃法雖然很經典、適用性廣, 但定向過程十分繁瑣、費時, 對操作者要求有較豐富的經驗. 利用定向儀的幾種快速定向法, 具有較強的實用性, 但要定向切割出任意晶面, 其操作過程也很繁瑣.

在現代石英晶體制作技術中，國外為了進步晶片切角精度及成品率，有3臺重要設備必不可少：一是高精度X射線粘板儀器，二是高精度多刀切開機，三是高精度X射線晶體定向儀。

需求特別強調的是，這篇文章提到的單反射、雙反射型定向儀，不只能用于石英工業，國外也廣泛地用于水晶以外的單晶資料。如：硅，鐵氧體，以及其它單晶資料。國內高等院校、研究院所已開始訂購，并以報價低的優勢，開始出口。

單晶定向