半導體級硅單晶定向設備的原則

發布日期：2018-07-06 11:31 來源：http://www.guoganxinwen.com 點擊：

　　晶體定向的作用，就為了確切地描述和表達構成晶體的晶面、晶棱以及對稱要素在空間的展布方位。正如幾何學中的一樣，我們需要有的規則來給晶體定向，從而體現不同晶系的晶體的各項特征。半導體級硅單晶定向設備晶體定向的作用：晶體定向后就可以對晶體上所有的面、線等進行標定，給出這些面、線的晶體學方向性符號；晶體定向是研究晶體各種物理性質（光學、電學、磁學等）方向性的基礎。那么，藍寶石晶體定向怎么選出X, Y, Z 軸呢？晶體定向就是在晶體上建立一個坐標系，由X, Y, Z 軸組成。X, Y, Z 軸也稱為晶軸或結晶主軸。

晶體定向的原則：

　　符合晶體的對稱性，一般都是選擇晶體上的對稱要素（如對稱軸，對稱面的法線）為晶軸；在符合上述原則的基礎上盡量使晶軸夾角等于90°。晶體結構就是由晶胞在三維空間堆跺起來形成的。用來“堆砌”晶體的特殊“磚塊”就是晶胞。晶體定向，就是在晶體中建立一個三維空間坐標系，然后我們需要選擇坐標軸(又稱為晶軸)、確定各晶軸上的單位長(軸長)及其比率(軸率)。晶軸實際上是格子構造中的行列（直線），該行列上的結點間距稱為軸長或軸單位，xyz軸上的軸單位分別以a0、b0和c0表示。只根據晶體外形的宏觀研究是不能確定軸長的，但我們可以根據幾何結晶學的方法可以確定出它們之間的比率a：b：c，這一比率稱為軸率。

　　藍寶石偏角定向晶體結構中的任何點都是以格子狀圖形重復排列的，不同的點所形成的格子狀圖形相互穿套在一起，就形成了晶體結構的格子構造。該儀器主要用于測量藍寶石晶棒的端面及參考面的角度，也可以用于測量其他種類晶體材料的晶棒。此型儀器設有兩個工作臺，雙側工作臺可以同時進行操作，樣品臺可根據用戶需要配置。晶片參考邊端面定向儀盡管各種晶體具有不同的結構，原子、離子等排列方式也具有各種不同的規律性，但所有晶體結構共同的本質特點是：質點在三維空間周期性重復排列，即具有格子構造，意指可以用格子狀的圖形來表達。那么，晶體結構里有些什么樣的格子狀圖形呢？我們引入“空間格子”這一概念。

單晶定向