幾種光學硅單晶定向測量方法

發布日期：2019-08-09 00:00 來源：http://www.guoganxinwen.com 點擊：

　　硅單晶定向測量裝置的光學系統，光軸和結晶方向間的未知夾角可在屏幕上直接以弧度讀出。適當設置一個或多個這樣的光學系統，所有關于單晶建的定向問題都可解決。常見定向問題的有關原理將參照下列幾種定向裝置來論述。

　　1.單軸定向測量法

　　這種方法可用于測量切片的定向以及檢測硅單晶定向。使用這種方法，經腐蝕后的切片定向很快被顯示在校準后的屏幕上。這種方法屏幕坐標系的切片轉置定向，可通過觀察星腳方向來粗略確定，這樣，硅片的切面定向就可檢測了。一個滑桿沿屏幕軸向置于嚴片臺上，使薄片切面朝該滑桿，借助屏幕土三腳星的轉動，該薄片的定向就顯示出來。

　　2。雙軸定向測量法

　　這種方法專門用于測量噴砂和腐蝕后的切片定向以及檢測硅片定向。操作中，切片置于以方向為鉸接軸線的承片臺上。垂直屏幕看去，當三腳星同時出現在兩光學系統的屏幕內時，操作完成。因為對稱軸向。總的定向取錯是這兩個已知定向取錯平方之和的算術根，它們都是微小角度。承片臺上設置一個與鉸接軸線垂直的滑桿，用它作參考來檢測。葉切片上平面平行的切面定向。

　　硅單晶定向測量的光學原理已參照各種定向測量方法進行了概述。可以斷言，任何硅晶定向測量問題均可用光學方法來解決，且加工精度也較高。其定向側量裝置小巧耐用，操作省時，不須過多維護，壽命長。總之，光學方法是一種簡單可靠的硅晶體定向測量方法。

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