用金相腐蝕法進行激光單晶定向

發布日期：2019-08-29 10:45 來源：http://www.guoganxinwen.com 點擊：

在進行金相腐蝕之前，應先將晶體端面用80#金剛砂在平板玻璃上濕磨，使在端面上解理出無數微小的解理坑，洗凈后，按指定的腐蝕工藝條件進行腐蝕。

硅單晶定向實驗用的單晶材料，在5％的NaOH水溶液中沸騰煮7分鐘．經過金相腐蝕的硅單晶晶面，腐蝕坑底的平面是垂直于上述相應晶軸的晶面，而其邊緣上的幾個側面則為另一些具有特定的結晶學指數的晶面族，這些側面按軸對稱的規律圍繞著腐蝕坑的底面，從而構成各種具有特殊對稱性的腐蝕坑構造．腐蝕坑的直徑大約為10μ的數量級，而激光束的直徑為1mm，因而同一束激光可以照射到許多腐蝕坑上。每一腐蝕坑在表面上的分布雖然是不規則的，但每個腐蝕坑均具有嚴格的軸對稱性，因而它們每一個相應的側面都取相同的方向，從而將平行的入射光也反射在相同的方向。

如將一晶體置于激光定向儀的晶體夾具上，調整各個方位，使被測晶軸的方向與入射的激光軸相平行，于是，在光屏上就顯示出反映晶軸對稱性的特征光圖。

用腐蝕法處理獲得的特征光圖十分清晰，有利于提高定向精度。但晶錠的端面如果與被測晶向偏離太大，一般情況下如超過10。

則腐蝕坑的對稱性就被嚴重破壞了，顯示不出對稱形的光圖。這就限制了采用腐蝕法前處理工藝的定向范圍。

晶定向,碳化硅定向,碳化硅晶體