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      硅單晶錠粘結儀

      硅單晶錠粘結儀

      • 所屬分類:半導體級硅單晶定向設備

      • 點擊次數:
      • 發布日期:2015/11/10
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      詳細介紹

      硅單晶錠粘結儀

      DX-7CF硅單晶錠復檢儀

      功能:此型儀器專門用于硅單晶錠定向、粘結后復檢。待測晶錠在我公司的DX-7C型X射線定向儀定向,在DX-7CZ型粘料儀上粘結后,最終在本儀器上復檢,和多線切割機配套使用。

      特點:此儀器具有一個工作臺,工作臺上有托板和料板(工件板)的定位、夾緊裝置。晶錠與墊條(石墨/玻璃/樹脂)、料板粘結后一起裝在上述裝置定位夾緊,其端面在x射線照射下進行復檢,每個料板只可復檢兩塊晶錠。

      技術參數:

      項目

      參     

      輸入電源

      單相交流220V,50Hz,0.3KW.

      最大管電壓

      30kV

      管電流

      0-5mA連續可調

      接收器

      蓋革計數器,工作電壓最高為DC1050V。

      X射線管

      銅靶,風扇冷卻,陽極接地。

      外形尺寸

      1290(長)x772(寬)x1300(高)mm

      儀器重量

      300kg

      晶錠直徑

      5-8英寸

      晶錠最大長度

      500mm

      測定晶面

      111向、100向

      定向精度

      ±30"(用標準石英片10ī1面測量)

      最小讀數

      1"

      晶錠轉角(&)

      ±10°

      料板最大長度

      500mm

      料板寬度

      70mm、100mm


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